תכונות המוצר
תמיכה במספר גרסאות (PLC/PC) ופרוטוקולי תקשורת מיינסטרים שונים;
תכנון וייצור המבוצעים בהתאם לתקן ייצור בטיחות SEMI;
קיבולת עיצוב ערוץ גבוהה, UPH400 ~ 550 יחידות;
מתאים למספר ממדי מוצרים ומגזינים;
עיצוב פטנט ברמת רקיק MFC, המונע מדליפת גז לגרום לתאונות בטיחות (תומך בגזים בסיכון- גבוה כגון מימן);
עיצוב פטנט של תא איטום גבוה, עד 5pa;
זווית מגע מים<10° (related to the material of product surface);
עיצוב ארבעה ערוצים לעיבוד בו זמנית של 4 מוצרים, עם אלקטרודות תחתונות כפולות, צמצום זמן הכניסה והיציאה מהלוח, שיפור משמעותי ביעילות והבטחת אחידות המוצר בעיבוד.
מפרט טכני
|
תצורה פונקציונלית |
פרמטרים טכניים |
|
|
L×W×H(mm) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
צִיוּד |
משקל נקי (ק"ג) |
1000 |
|
מרווח היקפי (מ"מ) |
600 מאחור, 600 משני הצדדים |
|
|
תָא |
נפח (L) |
בערך 9 |
|
ערוץ (מספרים) |
4 |
|
|
אלקטרודה תחתונה (יחידות) |
2 (פונקציית מעבר) |
|
|
מצב האכלה |
מָגָזִין |
|
|
ממד מוצר מותאם (מ"מ) |
רוחב:40-100 אורך:150-300 |
|
|
אֶלֶקטרוֹדָה |
ממד האלקטרודה (מ"מ) |
528×300 |
|
ספק כוח RF |
הספק סטנדרטי (kW) |
1 |
|
תדר (MHZ) |
13.56 |
|
|
בקרת גז |
עד שלושה ערוצים |
2 ערוצים (רגיל), 3 ערוצים (אופציונלי) |
|
מערכת בקרה |
ממשק-מחשב אנושי |
מחשב+מסך מגע |
|
ממשק מרוחק |
תִקשׁוֹרֶת |
אופציונלי |
|
משאבת ואקום |
משאבה יבשה אופציונלית |
17CFM |
|
משאבת שמן אופציונלית |
195CFM |
|
|
משאבה יבשה אופציונלית עם פונקציית טיהור |
כֵּן |
|
|
קצב זרימת טיהור חנקן (SLM) |
2 |
|
|
זמן שאיבת אבק |
10月15日 |
|
|
זמן שבירת ואקום (S) |
3-4 |
|
|
מתקני מפעל |
ספק כוח |
תלת-פאזי 380V50/60Hz 4.5kW(משאבת שמן) |
|
מימד וסוג התהליך |
1/4 אינץ' סוואגלוק |
|
|
טוהר גז תהליך |
כיתה תעשייתית ומעלה |
|
|
לחץ של גז תהליך (פסיג) |
10-20 |
|
|
מימד וסוג של צינור טיהור גז |
1/4 אינץ' סוואגלוק |
|
|
טיהור גז טהור |
כיתה תעשייתית ומעלה |
|
|
לחץ של טיהור גז (psig) |
15 |
|
|
מימד וסוג של פנאומטי |
דחיפה של 10 מ"מ-פנימה |
|
|
טוהר הגז הפנאומטי |
אוויר דחוס, נטול שמן-, נקודת טל קטנה או שווה ל-7 מעלות, חלקיקים<5 |
|
|
לחץ של גז פנאומטי (psig) |
70-90 |
|
|
אוויר דחוס (מ"מ) |
∅8 |
|
|
הַתאָמָה |
הסמכה |
חֲצִי |
|
ציוד נלווה |
מחולל חנקן (אופציונלי) |
אופציונלי לטיהור חנקן |
|
מצנן מים (אופציונלי) |
אופציונלי לקירור אלקטרודות |
|
|
ערכת מימן (אופציונלי) |
אופציונלי לטיפול במימן |
|
|
מעבד גז פליטה (אופציונלי) |
אופציונלי לטיפול בפליטת פלואור |
|
|
הוֹבָלָה |
משקל כולל (ק"ג) |
1050 |
|
מספר חבילות |
1 |
|
|
אריזה בהתאם לתקן SPM15 |
כֵּן |
|
תגיות פופולריות: מערכת VP-10S אוטומטית לטיפול בפלזמה בוואקום, מערכת VP-10S אוטומטית לטיפול בפלזמה בוואקום